浙江晶盛光子科技有限公司王树林获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江晶盛光子科技有限公司申请的专利载板升降装置及气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199460U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521032521.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型载板升降装置及气相沉积设备是由王树林;马华鑫设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本载板升降装置及气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了载板升降装置及气相沉积设备，载板升降装置用于在回流装置和反应腔之间移载载板，载板用于承载硅片，载板升降装置包括升降组件，载板升降装置还包括支撑组件和夹持组件，支撑组件包括多个导轮，多个导轮在同一水平面内间隔设置，导轮用于支撑载板，夹持组件包括至少两个夹持件，至少两个夹持件能够同时沿水平方向相向运动以水平对中夹持载板，或者相背运动以脱离载板；当夹持组件夹持载板，升降组件能够沿竖直方向升降载板；当夹持组件脱离载板，支撑组件能够沿水平方向移动载板。本实用新型的载板升降装置能提高载板运动稳定性，避免硅片滑动、碎裂，提高气相沉积设备的产品良率以及生产效率。
本实用新型载板升降装置及气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.载板升降装置，用于在回流装置和反应腔之间移载载板，所述载板用于承载硅片，所述载板升降装置包括升降组件5，其特征在于，所述载板升降装置还包括支撑组件1和夹持组件2，所述支撑组件1包括多个导轮11，多个所述导轮11在同一水平面内间隔设置，所述导轮11用于支撑所述载板，所述夹持组件2包括至少两个夹持件21，至少两个所述夹持件21能够同时沿水平方向相向运动以水平对中夹持所述载板，或者相背运动以脱离所述载板；当所述夹持组件2夹持所述载板，所述升降组件5能够沿竖直方向升降所述载板；当所述夹持组件2脱离所述载板，所述支撑组件1能够沿水平方向移动所述载板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶盛光子科技有限公司，其通讯地址为：311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励