天合光能股份有限公司唐宁获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利一种镀膜挡板调节机构及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224199464U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520380987.8,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型一种镀膜挡板调节机构及镀膜设备是由唐宁设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜挡板调节机构及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了一种镀膜挡板调节机构及镀膜设备,包括镀膜挡板本体、连杆以及驱动件;所述镀膜挡板本体与所述连杆固定连接;所述驱动件的输出端延伸至真空镀膜腔体内部,且与所述连杆连接,用于控制所述连杆绕其轴心方向旋转;所述驱动件的另一端裸露至真空镀膜腔体的外部;其中,所述驱动件的外壁中部设置有磁流体密封结构,用于将真空镀膜腔体与外界隔开。本实用新型通过上述设置,能够在不破坏真空镀膜腔体内部真空环境的前提下,完成镀膜挡板本体角度的调节,进而使得在完成调节后能够快速地进行工艺测试,缩短整体调节过程所需时长,提升镀膜速率。
本实用新型一种镀膜挡板调节机构及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜挡板调节机构,其特征在于,包括镀膜挡板本体、连杆以及驱动件; 所述镀膜挡板本体与所述连杆固定连接; 所述驱动件的输出端延伸至真空镀膜腔体内部,且与所述连杆连接,用于控制所述连杆绕其轴心方向旋转; 所述驱动件的另一端裸露至真空镀膜腔体的外部; 其中,所述驱动件的外壁中部设置有磁流体密封结构,用于将真空镀膜腔体与外界隔开。
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