江苏旭宇腾半导体科技有限公司顾泉获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏旭宇腾半导体科技有限公司申请的专利一种新型化学气相沉积喷头结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199470U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521021604.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种新型化学气相沉积喷头结构是由顾泉设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型化学气相沉积喷头结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种新型化学气相沉积喷头结构，包括喷头下盖，喷头下盖底端的中部开设有若干个均匀分布的喷淋孔，喷头下盖底端的外侧开设有环形卡槽，环形卡槽的内部卡合设置有环形卡座，环形卡座的外侧开设有两个安置槽，两个安置槽的内部均固定设置有限位弹片，环形卡槽内壁的两侧均开设有限位槽，两个限位弹片分别与两个限位槽卡合连接，本实用新型一种新型化学气相沉积喷头结构，通过使用较大的力向下拉动两个辅助拉环，使得两个限位弹片与两个限位槽分离，进而带动匀气板向下移动，使得若干个密封杆分别插入若干个喷淋孔内，进而对若干个喷淋孔进行疏通密封，避免喷淋孔堵塞进而影响喷头的后续正常操作。
本实用新型一种新型化学气相沉积喷头结构在权利要求书中公布了：1.一种新型化学气相沉积喷头结构，包括喷头下盖1，其特征在于：所述喷头下盖1底端的中部开设有若干个均匀分布的喷淋孔9，所述喷头下盖1底端的外侧开设有环形卡槽12，所述环形卡槽12的内部卡合设置有环形卡座13，所述环形卡座13的外侧开设有两个安置槽15，两个所述安置槽15的内部均固定设置有限位弹片16，所述环形卡槽12内壁的两侧均开设有限位槽17，两个所述限位弹片16分别与两个限位槽17卡合连接，所述环形卡座13顶端的两侧均固定设置有连接杆10，两个所述连接杆10之间的顶部固定设置有匀气板6，所述匀气板6顶端的中部开设有若干个匀气孔7，所述匀气板6底端的中部固定设置有若干个均匀分布的密封杆8，所述喷头下盖1顶端的外侧卡合设置有喷头上盖2，所述喷头上盖2顶端的中部固定连通有进气通道3。
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