中国科学院金属研究所周刚获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种基于RAFM钢/氮化钛的多级涂层氧介导退火制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121852855B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610331919.1,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种基于RAFM钢/氮化钛的多级涂层氧介导退火制备方法是由周刚;罗熠程;刘建荣设计研发完成,并于2026-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于RAFM钢/氮化钛的多级涂层氧介导退火制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于RAFM钢氮化钛的多级涂层氧介导退火制备方法,属于涂层制备技术领域。本发明方法包括:采用磁控溅射在低活化铁素体马氏体钢基体表面沉积TiN涂层,使用纯钛靶材,氮氩流量比1:13‑1:18,本底真空度4‑6×10‑5Pa,沉积时间60‑90min,沉积过程不对基体施加额外主动加热;将沉积涂层样品置于石英管中封装,管内气压提供微量氧气氛;随后进行800‑1000℃退火处理,保温90‑120min。通过氧介导的元素扩散与反应,在TiN涂层中原位形成由基体向外依次为内氧化层、Fe内富集层、TiN层、Fe外富集层和外氧化层的多级复合结构。本发明方法工艺简单,无需额外沉积过渡层,所制备的多级涂层与基体界面结合良好,抗热震性能优异,可承受30次以上热震循环。
本发明授权一种基于RAFM钢/氮化钛的多级涂层氧介导退火制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于RAFM钢氮化钛的多级涂层氧介导退火制备方法,其特征在于,利用物理气相沉积技术在低活化铁素体马氏体钢基体上沉积TiN涂层,对沉积后的样品进行退火处理,在基体上原位制备出由基体向外依次为内氧化层、Fe内富集层、TiN层、可选的Fe外富集层和外氧化层的复合涂层,该方法包括以下步骤: 步骤1:在低活化铁素体马氏体钢基体表面采用磁控溅射的物理气相沉积方法制备TiN涂层,使用纯钛靶材,通入的氮氩气流比为N2:Ar=1:10-1:20,本底真空度4-8×10-5Pa,沉积时氮氩气流分压为0.4-0.8Pa,沉积时间40-90min,沉积过程中不对基体施加额外主动加热,基体温度始终保持在20℃-40℃的室温范围; 步骤2:将沉积有TiN涂层的样品置于可控微量氧气氛中,所述可控微量氧气氛为氧气体积分数0.1%-0.5%的氩氧混合气氛,通过石英管真空封装处理提供,管内真空封装后的最终总气压设置为4-8×10-3Pa; 步骤3:放入箱式炉进行退火处理,退火温度为900℃-1000℃,保温时间为90-120min,升温速率为5-15℃min,随炉冷却,通过氧介导的元素扩散与反应,在所述TiN涂层中原位形成包含至少一层TiN层、至少一层氧化层和至少一层金属富集层的多层交替结构。
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