芯恩(青岛)集成电路有限公司曹树利获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种光刻胶回收装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224208441U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520689961.1，技术领域涉及：B05C11/10；该实用新型一种光刻胶回收装置是由曹树利设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶回收装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻胶回收装置，包括：第一壳体，具有第一容纳腔；第二壳体，设于所述第一容纳腔内，并具有第二容纳腔；所述第二壳体的侧壁开设有连通通道以连通所述第一容纳腔和所述第二容纳腔；封闭组件，设于所述第二壳体，以控制所述连通通道的打开和闭合；光刻胶收集部，具有第一管道，所述第一管道连通设于所述第一容纳腔；对所述晶圆喷涂光刻胶时，所述封闭组件控制所述连通通道打开，喷涂过程中多余的所述光刻胶进入所述第一容纳腔，并经由第一管道后被所述光刻胶收集部收集。本发明能够改善光刻胶在喷涂过程中浪费的问题。
本实用新型一种光刻胶回收装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶回收装置，其特征在于，包括： 第一壳体100，具有第一容纳腔110； 第二壳体200，设于所述第一容纳腔110内，并具有第二容纳腔210；所述第二壳体200的侧壁开设有连通通道220以连通所述第一容纳腔110和所述第二容纳腔210； 封闭组件300，设于所述第二壳体200，以控制所述连通通道220的打开和闭合； 光刻胶收集部400，具有第一管道420，所述第一管道420连通设于所述第一容纳腔110；对晶圆喷涂光刻胶时，所述封闭组件300控制所述连通通道220打开，喷涂过程中多余的所述光刻胶进入所述第一容纳腔110，并经由第一管道420后被所述光刻胶收集部400收集。
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