芯恩(青岛)集成电路有限公司王华安获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆载具装置及电子束蒸镀台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224212750U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520775011.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型晶圆载具装置及电子束蒸镀台是由王华安;陆光;张静雯设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载具装置及电子束蒸镀台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆载具装置及电子束蒸镀台，包括：承载座，用于承载晶圆；盖板组件，用于盖在承载座上，使晶圆夹于盖板组件和承载座之间，盖板组件上沿盖板组件的边缘形成有与承载座顶端的边缘相适配的挡边，在盖板组件盖合时，挡边与承载座顶端的边缘相贴，以阻挡杂质进入晶圆的边缘处。本实用新型通过在盖板组件上设置与承载座顶端的边缘相适配的挡边，在盖板组件盖合后，即使晶圆载具装置倾斜放置，挡边也能够与承载座顶端的边缘相贴，可以阻挡杂质进入盖板组件和承载座之间的缝隙，以避免杂质落入晶圆的边缘处进而造成电子束蒸镀台作业后晶圆边缘产生缺口裂纹的问题。
本实用新型晶圆载具装置及电子束蒸镀台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具装置，其特征在于，包括： 承载座，用于承载晶圆； 盖板组件，用于盖在所述承载座上，使所述晶圆夹于所述盖板组件和所述承载座之间，所述盖板组件上沿所述盖板组件的边缘形成有与所述承载座顶端的边缘相适配的挡边，在所述盖板组件盖合时，所述挡边与所述承载座顶端的边缘相贴，以阻挡杂质进入所述晶圆的边缘处。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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