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龙图腾网获悉鑫乐涵科技(苏州)有限公司申请的专利一种ALD设备用自动补水装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224212758U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520922110.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种ALD设备用自动补水装置是由邓方芳设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种ALD设备用自动补水装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种ALD设备用自动补水装置，包括：PLC控制器、工艺水瓶和蓄水瓶，所述工艺水瓶的顶部设置中间进水接口、设备补水接口、第一进气接口和装有监测仪的插口，所述蓄水瓶的顶部设置中间补水接口、进水接口、第二进气接口和装有液位监测仪的插口；所述设备补水接口安装设备补水管道，所述第一进气接口通过高压气管外接高压氮气，所述中间进水接口与中间补水接口之间通过虹吸管道密闭连接，所述进水接口装有进水管道，所述第二进气接口通过高压气管外接高压氮气，所有管道上都安装有相应阀门，所有阀门与液位监测仪都与所述PLC控制器分别信号连接。通过上述方式，本实用新型能够实现ALD设备的自动补水，提高生产效率，减少生产停顿。

本实用新型一种ALD设备用自动补水装置在权利要求书中公布了：1.一种ALD设备用自动补水装置，其特征在于，所述ALD设备用自动补水装置安装在ALD设备上，包括：PLC控制器、工艺水瓶和蓄水瓶，所述工艺水瓶和蓄水瓶上都预设有最高液位线和最低液位线，所述工艺水瓶的顶部设置中间进水接口、设备补水接口、第一进气接口和第一监测仪插口，所述蓄水瓶的顶部设置中间补水接口、进水接口、第二进气接口和第二监测仪插口； 所述第一监测仪插口上密闭插入第一液位监测仪，所述第二进气接口上密闭插入第二液位监测仪，所述设备补水接口安装密闭接入所述ALD设备的反应腔内的设备补水管道，所述设备补水管道上安装有纯水载气阀，所述第一进气接口通过第一高压气管外接高压氮气，所述第一高压气管上安装有第一进气阀，所述工艺水瓶的中间进水接口与所述蓄水瓶的中间补水接口之间通过虹吸管道密闭连接，所述虹吸管道一端插入所述蓄水瓶内，管口位于所述蓄水瓶预设的最低液位线下方，另一端插入所述工艺水瓶内，管口位于所述工艺水瓶预设的最高水位线上方，所述虹吸管道上安装有第一补水阀，所述蓄水瓶的进水接口安装外接纯水的进水管道，所述进水管道上安装有第二补水阀，所述第二进气接口通过第二高压气管外接高压氮气，所述气管上安装有第二进气阀； 所述PLC控制器与所述第一液位监测仪、第二液位监测仪、纯水载气阀、第一补水阀、第二补水阀、第一进气阀和第二进气阀分别信号连接。

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