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龙图腾网获悉山西天成半导体材料有限公司申请的专利带有提拉旋转机构的碳化硅单晶生长真空加热炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224212823U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521174712.5，技术领域涉及：C30B11/00；该实用新型带有提拉旋转机构的碳化硅单晶生长真空加热炉是由王晨豪;仝晓刚;刘洋洋;周海峰;余志明;梁晏馨设计研发完成，并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本带有提拉旋转机构的碳化硅单晶生长真空加热炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种带有提拉旋转机构的碳化硅单晶生长真空加热炉，属于碳化硅单晶生长技术领域，包括炉体、上法兰和提拉旋转机构，上法兰安装于炉体的顶部，提拉旋转机构安装于上法兰的顶部，提拉旋转机构主要由导向柱、移动平台、传动螺杆、磁流体密封装置、提拉旋转管、第一驱动电机和第二驱动电机组成。本实用新型通过优化加热器固定方式，实现了加热器在炉体内的稳定均布设置，保证了炉体内的均匀加热。本实用新型通过创新上法兰与提拉旋转机构的结构构造，将上法兰与提拉旋转机构设计为一体式结构，从而确保了提拉旋转机构精确控制坩埚的垂直升降与旋转。本实用新型真空加热炉的创新性设计提高了真空加热炉的整体性能和工作效率。

本实用新型带有提拉旋转机构的碳化硅单晶生长真空加热炉在权利要求书中公布了：1.一种带有提拉旋转机构的碳化硅单晶生长真空加热炉，包括炉体、上法兰和提拉旋转机构，其特征在于：上法兰安装于炉体的顶部，提拉旋转机构安装于上法兰的顶部； 炉体内设置有坩埚和加热器，坩埚居中设置，加热器位于坩埚四周且均布设置；炉体的底部开设有电极孔，加热器底部的电极棒插装在电极孔内并从电极孔延伸至炉体外部； 提拉旋转机构包括导向柱、移动平台、传动螺杆、磁流体密封装置、提拉旋转管、第一驱动电机和第二驱动电机；导向柱垂直固定于上法兰上并且沿上法兰的四周均布设置，移动平台滑动套装在导向柱上；传动螺杆垂直固定于上法兰上并且贯穿移动平台设置；磁流体密封装置安装于上法兰的中心位置处；提拉旋转管贯穿上法兰设置且与上法兰滑动连接，提拉旋转管的底端与坩埚固定连接，提拉旋转管的顶端与磁流体密封装置的转轴下半段固定连接，磁流体密封装置的转轴上半段安装有旋转被动齿轮；第一驱动电机固定于移动平台上，第一驱动电机的输出端安装有提拉主动齿轮，提拉主动齿轮与传动螺杆啮合连接；第二驱动电机固定于移动平台上，第二驱动电机的输出端安装有旋转主动齿轮，旋转主动齿轮与旋转被动齿轮啮合连接。

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