湖北星辰技术有限公司韦飞云获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆键合力测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224218802U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521185600.X，技术领域涉及：H10P74/20；该实用新型一种晶圆键合力测试装置是由韦飞云设计研发完成，并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合力测试装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆键合力测试装置，涉及半导体技术领域。晶圆键合力测试装置包括晶圆夹具，以及设置在晶圆夹具一侧的进刀机构，晶圆夹具上用于水平设置键合晶圆，进刀机构包括由进刀夹持件夹持固定的刀片，以及在刀片的进刀方向设置于晶圆夹具之前的清洁结构，清洁结构包括沿竖直方向相对设置的上弹性清洁部和下金属清洁部，其中，上弹性清洁部和下金属清洁部之间形成有水平缝隙，水平缝隙的宽度小于刀片的厚度，水平缝隙与键合晶圆的键合面的水平高度对应，刀片用于在进刀夹持件的推动下沿进刀方向经过水平缝隙后切入键合晶圆的键合面。其能够对刀片上的碎屑进行清洁，提高测量结果的稳定性。
本实用新型一种晶圆键合力测试装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合力测试装置，其特征在于，包括晶圆夹具，以及设置在所述晶圆夹具一侧的进刀机构，所述晶圆夹具上用于水平设置键合晶圆，进刀机构包括由进刀夹持件夹持固定的刀片，以及在刀片的进刀方向设置于晶圆夹具之前的清洁结构，所述清洁结构包括沿竖直方向相对设置的上弹性清洁部和下金属清洁部，其中，所述上弹性清洁部和所述下金属清洁部之间形成有水平缝隙，所述水平缝隙的宽度小于所述刀片的厚度，所述水平缝隙与所述键合晶圆的键合面的水平高度对应，所述刀片用于在所述进刀夹持件的推动下沿进刀方向经过所述水平缝隙后切入所述键合晶圆的键合面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北星辰技术有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路12号汇成工业科创园2号楼11F(自贸区片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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