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一种外延片的制备方法、外延片、半导体器件及半导体生长设备
本发明提供了一种基于半导体生长设备的外延片的制备方法、外延片、半导体器件及半导体生长设备,该方法包括:将衬底放置于反应室内;控制第一喷口与第二喷口分别向衬底表面喷射铝源与氮源,并控制可变喷口向衬底表面喷射氮源以调整反应室中心区域中铝源与氮源...
一种气相外延生长温流协同控制方法及系统
本发明属于晶体生长控制技术领域,具体涉及一种气相外延生长温流协同控制方法及系统,其方法包括:实时采集反应室各温区的加热功率、实时温度及工艺气体流量,经时序对齐与滤波后,基于加热功率与实时温度构建表征晶圆局部几何形变趋势的等效热耦合间隙因子;...
一种快速实现晶格弛豫的III族氮化物薄膜的制备方法
本发明公开了一种快速实现晶格弛豫的III族氮化物薄膜的制备方法,属于半导体薄膜生长技术领域。本发明通过调整多周期超晶格中两种III族氮化物的晶格常数差值和厚度,控制应力缓慢积累,结合生长条件控制,缓慢积累的压应力导致超晶格采用SK生长,释放...
单晶炉
本申请提供了一种单晶炉,炉体设置有连通其内腔的导气孔,坩埚设置于炉体的内腔中,保温筒设置于炉体的内腔中,且保温筒至少围绕在坩埚的至少一部分外周区域,隔热筒设置于保温筒的内腔中,且隔热筒围绕在坩埚的至少一部分外周区域,隔热筒和保温筒之间形成导...
一种低液面导流供料的氧化镓晶体生长方法
本申请公开了一种低液面导流供料的氧化镓晶体生长方法,属于晶体生长技术领域。该方法包括:在坩埚内放置初始量的氧化镓原料,使得原料熔化后熔体液面恰好与贯穿坩埚底部的熔体导流装置的导流通道入口齐平;对坩埚进行加热使原料熔化,并维持熔体液面与导流通...
碳化硅外延修正装置与碳化硅外延设备
本申请涉及一种碳化硅外延修正装置与碳化硅外延设备,包括处理腔室,处理腔室内通入有刻蚀气流;设置于处理腔室内的承载盘,用于放置待修正晶圆并带动待修正晶圆旋转,以通过刻蚀气流对待修正晶圆的外延层的膜层厚度进行修正;设置于承载盘远离待修正晶圆的一...
氮化镓单晶基板及其制造方法
本发明提供实现了缘部的应力降低的氮化镓单晶基板的制造技术。氮化镓单晶基板是圆形的基板,由单晶的氮化镓构成,具有通过用荧光显微镜观察主面而观察到明暗条纹状的同心圆状的条纹,其中,基板的圆形的中心即基板中心配置于从条纹的同心圆的中心即条纹中心偏...
引入激光表层处理的硅上砷化镓材料异质外延生长的方法
本发明提供一种引入激光表层处理的硅上砷化镓材料异质外延生长的方法。该方法包括:在硅衬底上生长低晶化程度的砷化镓低温层,采用激光表层处理的方式将砷化镓低温层的表层晶化;在表层晶化处理后的砷化镓低温层上生长砷化镓中温层,采用激光表层处理的方式将...
一种二维热电AgSbSe2晶体及其制备方法
本发明涉及热电材料技术领域,具体涉及一种二维热电AgSbSe2晶体及其制备方法。该二维热电AgSbSe2晶体的制备方法,包括:将AgI粉和Sb粉混合后得到的混合前驱体放置于助熔盐基质层上;将等离子清洗后的云母衬底倒扣于混合前驱体上方,云母衬...
一种二维二硒化锡晶体及其制备方法与应用
本发明涉及二维层状材料制备技术领域,具体涉及一种二维二硒化锡晶体及其制备方法与应用。本发明提供了一种二维二硒化锡晶体的制备方法,在单温区管式炉内部,按照气流方向依次放置硒源、锡源和空白衬底,调节进气口法兰的轴向方向相对于单温区管式炉的内管的...
一种本征超晶格单晶材料及其制备方法
本发明公开了一种本征超晶格单晶材料及其制备方法,属于单晶生长技术领域。该单晶的化学式为BaLaMnSb4,其晶体结构由BaMnSb2层和LaSb2层在垂直于层方向上以本征超晶格形式交替堆叠而成。本发明利用自助熔剂方法生长出具有本征超晶格的新...
一种碱式硫酸镁晶须的超疏水改性方法
本发明为一种碱式硫酸镁晶须的超疏水改性方法。该方法包括如下步骤:向水醇溶液中加入无水丙酸,得到pH值为4~6的酸性水醇溶液;将POTS加入酸性水醇溶液中,混合后得到酸性POTS溶液;将酸性POTS溶液密闭并磁力搅拌、在40~50℃下恒温搅拌...
一种基于海藻纤维膜的生物基储酒容器及其制备方法
本发明公开了一种基于海藻纤维膜的生物基储酒容器及其制备方法,属于绿色包装材料领域。本发明容器以藻渣复合体为结构基体,其内壁通过静电纺丝技术原位生长海藻纳米纤维膜作为核心功能层。该纤维膜与基体形成“根须式”三维机械互锁,附着力强,并作为柔性应...
一种芳纶干湿法纺丝方法
本发明涉及一种芳纶干湿法纺丝方法,属于纤维技术领域,用以解决现有方法操作难度大、不能连续生产、凝固效果差、易出现并丝现象、浆液易在喷丝板面漫流、纤维力学性能差等问题中至少一个。一种芳纶干湿法纺丝方法包括:将芳纶纺丝原液经喷丝板挤出成初生丝,...
一种超细旦多孔涤纶纤维的制备方法
本发明属于涤纶纤维技术领域,公开了一种超细旦多孔涤纶纤维的制备方法,其制备方法为:聚酯熔体通过喷丝板挤出后,经冷却、上油、拉伸和卷绕制得超细旦多孔涤纶纤维;喷丝板孔数≥288孔,外径为88~105mm,内径为77~93mm;记喷丝板上直径<...
一种复合丝梯度冷却工艺
本发明涉及复合丝冷却技术领域,公开了一种复合丝梯度冷却工艺,该工艺包括以下步骤:S1、将熔融的复合丝丝条导入第一冷却区段,并采用第一冷却介质对所述复合丝丝条进行预取向处理;S2、将经过步骤S1处理的所述复合丝丝条导入第二冷却区段,并采用由反...
基于在线张力与温度协同控制的涤纶复合长丝纺丝牵伸工艺及系统
本发明公开了一种基于在线张力与温度协同控制的涤纶复合长丝纺丝牵伸工艺及系统。该工艺在牵伸加热区在线采集张力、丝束表面温度、各级牵伸加热区加热温度及牵伸辊线速度;基于上述数据在线建立并更新张力—温度耦合关系模型,采用滚动数据对模型参数进行校正...
一种全封闭式的纳米纤维生产装置
本发明涉及纳米纤维生产设备技术领域,公开了一种全封闭式的纳米纤维生产装置,包括进风箱、出风箱、纤维收集箱、风扇、挡风罩和纺丝装置;依次连接的进风箱、出风箱和纤维收集箱形成密闭空间;进风箱的箱壁开设有进风管安装孔;风扇安装于上隔板,风扇的顶部...
一种旋转气流式聚焦离心纺丝装置
一种旋转气流式聚焦离心纺丝装置,包括传动轴及沿其轴向依次配合的进气模块、气流传导模块、离心纺丝模块;进气模块设中空气流腔及进风接口,与传动轴转动配合;流传导模块包括与传动轴固定连接的传导轴和气流传导板,传导轴开设有若干导流孔,各孔内连接有气...
一种倾斜式聚焦离心纺丝机收集装置
一种倾斜式聚焦离心纺丝机收集装置,包括机架、正电机支撑板、均流板、丝杠电机、收集器、正电机与顶升机构;所述机架的一侧安装有丝杠电机,丝杠电机的输出轴与滚珠丝杠的一端连接,滚珠丝杠的另一端与法兰连接,法兰安装在机架的另一侧,滚珠丝杠的外侧围螺...
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