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最新专利技术
  • 负载腔室、半导体工艺设备及半导体工艺方法
    负载腔室、半导体工艺设备及半导体工艺方法_北京北方华创微电子装备有限公司_202411495705.5
    本申请公开了一种用于半导体工艺设备的负载腔室及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种负载腔室，包括：第一腔体、承载装置、抽真空装置和防护装置；所述承载装置具有设于所述第一腔体内的承载端，所述承载端用于承载晶圆；所述抽真空装置的抽吸端与所述第一...
    2026-05-04
  • 一种真空镀膜设备
    一种真空镀膜设备_光驰科技(上海)有限公司_202411513098.0
    本发明属于真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜设备。真空镀膜设备包括容置组件、第二装载机构、第三装载机构、第一搬送机构和翻转机构，容置组件包括第一镀膜室和第二镀膜室，第一镀膜室和第二镀膜室选择性连通；第二装载机构设于第一镀膜室内；第三装载机...
    2026-05-04
  • 检查装置、成膜系统、检查方法及电子器件的制造方法
    检查装置、成膜系统、检查方法及电子器件的制造方法_佳能特机株式会社_202511492308.7
    本发明提供一种检查装置、成膜系统、检查方法及电子器件的制造方法，提高膜的检查的检查精度。检查装置具备：基板支承机构，所述基板支承机构支承被送入的基板；吸附机构，所述吸附机构吸附由所述基板支承机构支承的基板；检查机构，所述检查机构对在所述吸附...
    2026-05-04
  • 检查装置、成膜系统、检查方法及电子器件的制造方法
    检查装置、成膜系统、检查方法及电子器件的制造方法_佳能特机株式会社_202511492351.3
    本发明提供一种检查装置、成膜系统、检查方法及电子器件的制造方法，提高膜的检查的检查精度。检查装置具备：基板支承机构，所述基板支承机构支承被送入的基板；位移机构，所述位移机构使所述基板支承机构位移；吸附机构，所述吸附机构吸附由所述基板支承机构...
    2026-05-04
  • 一种复合集流体增强层制备工艺
    一种复合集流体增强层制备工艺_深圳劲嘉聚能科技有限公司_202610137963.9
    本发明提供的一种复合集流体增强层制备工艺，包括：形成隔离空间，所述隔离空间为真空空间或惰性气体填充空间；在所述隔离空间中，将基膜连续地输送至铝沉积区，在所述铝沉积区内，在所述基膜表面沉积铝金属层；将沉积有所述铝金属层的基膜从所述隔离空间输送...
    2026-05-04
  • 热光学双功能涂层、半导体工件处理装置和温度控制方法
    热光学双功能涂层、半导体工件处理装置和温度控制方法_北京屹唐半导体科技股份有限公司_202610105964.5
    本发明提供了一种热光学双功能涂层、包括该热光学双功能涂层的半导体工件处理装置和控制半导体工件处理装置内温度的方法。所述热光学双功能涂层包括光学涂层和高温防护层；其中，所述光学涂层包括硅0~1%、氧40~70%、镁0~1%、氯0~30%、铝2...
    2026-05-04
  • 一种SiCf/SiC复合材料包壳预制体CVI沉积装置
    一种SiCf/SiC复合材料包壳预制体CVI沉积装置_核工业第八研究所_202610361293.9
    一种SiCf /SiC复合材料包壳预制体CVI沉积装置，位于沉积炉腔体中，包括边支撑架、中支撑架、固定杆、单边固定架；顶部为边支撑架、中支撑架，边支撑架位于外侧，而中支撑架位于内侧，边支撑架、中支撑架的左右两端分别开有通孔A、通孔B，通过通...
    2026-05-04
  • 一种AlScN薄膜的制备方法及制备系统
    一种AlScN薄膜的制备方法及制备系统_苏州实验室_202610385908.1
    本申请涉及一种AlScN薄膜的制备方法及制备系统，制备方法包括以下步骤：提供基底；对基底进行预处理，在基底上形成铂电极层；将基底放置于反应室，并对反应室进行预处理，使反应室的压力和温度变为预定值；向反应室内通入前驱气体；多次循环前驱气体，在...
    2026-05-04
  • 一种生长小直径氮化硼纳米管的方法及其应用
    一种生长小直径氮化硼纳米管的方法及其应用_中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所_202610144421.4
    本发明公开了一种生长小直径氮化硼纳米管的方法及其应用。所述方法包括：将催化剂施加于衬底表面，并且所述催化剂与硼源空间分离；采用化学气相沉积法使所述催化剂、硼源、氮源与功能性载体发生反应，得到生长在衬底上的氮化硼纳米管。本发明采用催化剂与硼源...
    2026-05-04
  • 一种适用于CVD和ALD双模式的流化床反应装置
    一种适用于CVD和ALD双模式的流化床反应装置_柔电(武汉)科技有限公司_202510990730.9
    本发明涉及一种适用于CVD和ALD双模式的流化床反应装置，反应釜下部进气口与氮气/氩气瓶源依次串联单向阀、调压阀、电磁球阀、质量流量控制器，反应釜下部进气口与碳源气源瓶、硅烷气源瓶之间均依次串联单向阀、隔膜阀、质量流量控制器，反应釜下部进气...
    2026-05-04
  • 基板处理装置以及基板处理方法
    基板处理装置以及基板处理方法_东京毅力科创株式会社_202511470517.1
    本发明的课题在于提供一种控制处理区域中的处理气体的状态的基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置具备：处理室；载置台，配置在处理室内，用于载置基板；气体供给机构，与载置台对置配置，对基板供给处理气体；处理区域，形成在载置台与气体供给机构之间...
    2026-05-04
  • 一种用于半导体切割用金刚石划片刀的涂层涂敷设备及方法
    一种用于半导体切割用金刚石划片刀的涂层涂敷设备及方法_亳州市强锐超硬材料有限公司_202610171601.1
    本发明涉及划片刀表面处理技术领域，特别是涉及一种用于半导体切割用金刚石划片刀的涂层涂敷设备及方法，用于解决传统涂敷技术效果不佳的问题；该设备包括防护机构和传动机构，放置杆的底端固定连接有安装杆，齿轮的中部开设有与安装杆间隙配合的插孔，底座上...
    2026-05-04
  • 一种镍基柔性光电热多功能涂层及其制备方法
    一种镍基柔性光电热多功能涂层及其制备方法_中国计量大学_202610147616.4
    本发明属于光电热涂层技术领域，更具体的说是涉及一种镍基柔性光电热多功能涂层及其制备方法。本发明通过将柔性基体经胶体钯活化液活化、解胶剂解胶，随后在化学镀镍液中镀镍，得到镀镍柔性基体；将镀镍柔性基体在电解液中进行电沉积处理，得到所述镍基柔性光...
    2026-05-04
  • 衬塑复合钢管的钝化装置
    衬塑复合钢管的钝化装置_天津友发管道科技有限公司_202610125812.1
    本发明提供了一种衬塑复合钢管的钝化装置，复合钢管通过外部的输送机构能够线性移动并穿过外箱体，喷淋组件能够向复合钢管外围喷淋钝化液，且钝化液能够完全接触到复合钢管的外表面，支撑组件用于支撑复合钢管在外箱体内的相对位置，气刀组件用于气吹除复合钢...
    2026-05-04
  • 一种无铬钝化剂及其制备方法和应用方法
    一种无铬钝化剂及其制备方法和应用方法_武汉风帆电化科技股份有限公司_202610249272.8
    本发明涉及钝化剂技术领域，具体涉及一种无铬钝化剂及其制备方法和应用方法，无铬钝化剂以质量百分比为100%计，包括以下组分：六氟钛酸铵2‑3%、二氧化硅溶胶6‑8%、钼酸钠2‑3%、聚醚改性七甲基三硅氧烷0.2‑0.5%、硅烷偶联剂10‑15...
    2026-05-04
  • 一种化学合成水溶液及其在金属表面绝缘处理的应用
    一种化学合成水溶液及其在金属表面绝缘处理的应用_深圳万佳原精化科技股份有限公司_202610397455.4
    本发明公开了一种化学合成水溶液及其在金属表面绝缘处理的应用，所述化学合成水溶液在单位体积内按重量份计，包括有机酸1‑5份，γ‑缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷3‑5份，甲基三甲氧基硅烷1‑3份，无机增强相前驱体0.1‑0.3份，稀土盐0.05‑...
    2026-05-04
  • 一种钛种植体表面具有光热-纳米酶双重效应的涂层及其制备方法与应用
    一种钛种植体表面具有光热-纳米酶双重效应的涂层及其制备方法与应用_山东第一医科大学(山东省医学科学院)_202610143771.9
    本发明提供了一种钛种植体表面具有光热‑纳米酶双重效应的涂层及其制备方法与应用。该涂层的制备方法，包括如下步骤：(1)将预处理后的钛植入体置于碱溶液中，进行碱热处理；经冲洗、干燥，得到带有钛酸钠预化涂层的钛植入体；(2)将钛源、钼源和有机配体...
    2026-05-04
  • 一种多角度喷淋的钝化膜厚度控制方法
    一种多角度喷淋的钝化膜厚度控制方法_天津友发钢管集团股份有限公司_202610405415.X
    本发明涉及金属钝化膜厚度控制领域，具体涉及一种多角度喷淋的钝化膜厚度控制方法，首先通过CFD仿真获取基准流场数据，并实时采集喷淋区的视觉图像、压力及镀锌管位置数据。其次，结合实时压力权重与图像灰度差异，计算瞬态流场动能离散度以评估流场稳定性...
    2026-05-04
  • 一种高导热铝合金的制备方法
    一种高导热铝合金的制备方法_中山大学_202610168525.9
    本发明属于铝合金材料制备技术领域，具体涉及一种高导热铝合金的制备方法。为有效解决铝合金散热性能不足的问题，本发明公开了一种铝合金的粉末喷丸策略，该策略以喷丸技术为基础，添加铜粉、银粉、石墨烯等高导热粉末实施表面改性，借助短路扩散使粉末与铝基...
    2026-05-04
  • 一种纳米陶瓷-聚合物复合自润滑涂层齿轮及其制备方法
    一种纳米陶瓷-聚合物复合自润滑涂层齿轮及其制备方法_郑机所(郑州)传动科技有限公司_202610059306.7
    本发明具体涉及一种纳米陶瓷‑聚合物复合自润滑涂层齿轮及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤，对齿轮金属基体进行激光微织构化处理，形成微米级凹坑阵列；制备复合粉末A中纳米陶瓷增强相占比为75‑85wt%，和复合粉末B中有机高聚物的含量为50‑...
    2026-05-04
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